多功能復(fù)合鍍膜機(jī)采購(gòu)信息公告

燕山大學(xué)多功能復(fù)合鍍膜機(jī)采購(gòu)信息公告
2012-10-12
公告日期：2012年10月12日-2012年10月22日
公告編號(hào)：SX201249號(hào)
公示單位：燕山大學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備及國(guó)有資產(chǎn)管理處
地址：***
郵編：066004
電話/傳真：***
郵箱：mafahui@vip.qq.com
項(xiàng)目聯(lián)系人***
燕山大學(xué)將于近期采購(gòu)多功能復(fù)合鍍膜機(jī)一套，具體采購(gòu)方式及采購(gòu)時(shí)間另行公告。歡迎具備供應(yīng)商資格要求的單位與項(xiàng)目聯(lián)系人***
一、 采購(gòu)貨物或服務(wù)的名稱及數(shù)量：多功能復(fù)合鍍膜機(jī)一套
二、 主要技術(shù)參數(shù)
該系統(tǒng)利用真空蒸鍍沉積、磁控濺射沉積各種有機(jī)、無(wú)機(jī)薄膜，利用蒸鍍和磁控濺射來(lái)獲得多層復(fù)合薄膜，基片需帶有自轉(zhuǎn)系統(tǒng)完成在圓柱體表面鍍膜，需要有效解決不同鍍膜方式有可能帶來(lái)的干擾和相互污染等問(wèn)題，并能夠精確檢測(cè)薄膜的厚度、真空制備過(guò)程，配備磁控濺射必要的靶材、薄膜厚度控制系統(tǒng)、循環(huán)水機(jī)等。
技術(shù)參數(shù)：
真空度要求：優(yōu)于5.0×10-5Pa
真空腔室尺寸：?jiǎn)问一螂p室，單室大于Φ400×H600mm，雙室每室大于Φ300×H400mm
真空獲得系統(tǒng)：渦輪分子泵+直聯(lián)旋片泵
蒸發(fā)電極及蒸發(fā)電源：2～3組蒸發(fā)源
濺射靶：磁控靶2～3
基片運(yùn)動(dòng)方式：自轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-20轉(zhuǎn)/分可調(diào)可控
膜厚不均勻性：≤±3%
膜厚顯示精度： 高于10-10m
報(bào)警及保護(hù)系統(tǒng)：對(duì)泵、靶、電極等缺水，過(guò)流過(guò)壓，斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。
實(shí)驗(yàn)設(shè)備及國(guó)有資產(chǎn)管理處