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吉林大學(xué)汽車材料重點(diǎn)實(shí)驗室光刻機(jī)項目招標(biāo)公告

招標(biāo)文件下載
信息發(fā)布日期:2012.10.12 標(biāo)簽: 吉林省招標(biāo) 
招標(biāo)編號:JDCG2012-332
加入日期:2012.10.12
截止日期:2012.10.21
地 區(qū):吉林省
內(nèi) 容:序號 設(shè)備名稱 技術(shù)要求 數(shù)量 1 光刻機(jī) 最大可完成6英寸(150mm)襯底光刻 6英寸范圍內(nèi)光強(qiáng)均勻性:±3% 4英寸范圍內(nèi)光強(qiáng)均勻性:±2% 2英寸范圍內(nèi)光強(qiáng)均勻性:±1% 真空接觸分辨率:0.6微米(光刻膠厚度1微米); 硬接觸分辨率:1um; 軟接觸分辨率:2um; 接近式分辨率:3um。 分離視場顯微系統(tǒng)雙CCD,放大倍數(shù)大于500倍, 最小雙視場間距:10mm; 支持正膠、負(fù)膠及Su8膠等的厚膠光刻,特征尺寸:100um-300um; 支持真空、接近式、接觸式曝光; 支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式。 1套 2 光源系統(tǒng) 適用于2”~4”6“硅圓片或者化合物圓片; 350W進(jìn)口高壓汞燈,紫外波長350~450納米。抗衍射光源 光源系統(tǒng)配有蠅眼棱鏡 1套 3 CCD顯微顯示系統(tǒng) 分離視場雙CCD系統(tǒng) 17″液晶顯示屏2臺 焦距、物距調(diào)節(jié)臺1套; LED同軸照明光源2臺; 棱鏡對準(zhǔn)裝置。 1套 等
 
招標(biāo)公告正文

吉林大學(xué)汽車材料重點(diǎn)實(shí)驗室光刻機(jī)項目招標(biāo)公告(招標(biāo)編號:JDCG2012-332)
根據(jù)公平、公正、公開的原則,吉林大學(xué)招標(biāo)與采購管理中心就本采購項目進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo),現(xiàn)邀請合格的投標(biāo)人參加投標(biāo),投標(biāo)人必須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條之規(guī)定。
1.招標(biāo)編號: JDCG2012-332
2.招標(biāo)項目名稱:汽車材料重點(diǎn)實(shí)驗室光刻機(jī)(招標(biāo)邀請書詳見文件下載)
3.發(fā)售招標(biāo)文件時間:2012年10月12日到2012年10月21日(公休日除外)。
4.發(fā)售招標(biāo)文件地點(diǎn): 吉林大學(xué)招標(biāo)與采購管理中心招標(biāo)管理科(吉林省長春市人民大街5988號即吉林大學(xué)南嶺校區(qū)繼續(xù)教育學(xué)院樓517室)
5.送達(dá)投標(biāo)文件時間:2012年10月23日8:00時。
6.開標(biāo)時間:2012年10月23日 (具體時間以當(dāng)天招標(biāo)順序表為準(zhǔn))。
7.開標(biāo)地點(diǎn):吉林省長春市人民大街5988號吉林大學(xué)南嶺校區(qū)繼續(xù)教育學(xué)院樓五樓。
8.招標(biāo)機(jī)構(gòu):吉林大學(xué)招標(biāo)與采購管理中心。
9.報名方式:投標(biāo)商首先在我中心供應(yīng)商庫注冊并通過審核,然后本地投標(biāo)商應(yīng)到開標(biāo)地點(diǎn)登記報名;外地投標(biāo)商可通過供應(yīng)商庫網(wǎng)上報名;外地投標(biāo)商須于開標(biāo)當(dāng)天8:30之前交納標(biāo)書費(fèi)。
地址:***
郵編: 130025
聯(lián)系電話***
傳真:***
聯(lián)系人***
附件:

序號
設(shè)備名稱
技術(shù)要求
數(shù)量
1
光刻機(jī)
最大可完成6英寸(150mm)襯底光刻
6英寸范圍內(nèi)光強(qiáng)均勻性:±3%
4英寸范圍內(nèi)光強(qiáng)均勻性:±2%
2英寸范圍內(nèi)光強(qiáng)均勻性:±1%
真空接觸分辨率:0.6微米(光刻膠厚度1微米);
硬接觸分辨率:1um;
軟接觸分辨率:2um;
接近式分辨率:3um。
分離視場顯微系統(tǒng)雙CCD,放大倍數(shù)大于500倍,
最小雙視場間距:10mm;
支持正膠、負(fù)膠及Su8膠等的厚膠光刻,特征尺寸:100um-300um;
支持真空、接近式、接觸式曝光;
支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式。
1套
2
光源系統(tǒng)
適用于2”~4”6“硅圓片或者化合物圓片;
350W進(jìn)口高壓汞燈,紫外波長350~450納米。抗衍射光源
光源系統(tǒng)配有蠅眼棱鏡
1套
3
CCD顯微顯示系統(tǒng)
分離視場雙CCD系統(tǒng)
17″液晶顯示屏2臺
焦距、物距調(diào)節(jié)臺1套;
LED同軸照明光源2臺;
棱鏡對準(zhǔn)裝置。
1套
4
對準(zhǔn)工作臺
3″×3″、5″×5″版架各1件;
φ2″、φ4″承片臺各1件;
升降機(jī)構(gòu)1套;
X、Y對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)1套;
旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)1套。
對準(zhǔn)精度為±1 um。
1套
5
電氣控制臺
350W直流汞燈電源1臺;
定時器1臺;
電磁閥及控制系統(tǒng)1套;
氣動、真空儀表1套;
控制臺1套。
1套

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