掩膜對準(zhǔn)器招標(biāo)公告

項目編號： 2010-EQ-214-GC-170
西南交通大學(xué)（招標(biāo)方）就 掩膜對準(zhǔn)器 項目對國內(nèi)從事相關(guān)專業(yè)的公司進(jìn)行有限競爭招標(biāo)。請參加投標(biāo)的公司仔細(xì)閱讀本總則和相關(guān)儀器設(shè)備細(xì)則，并按要求提供有關(guān)信息。
1、項目概況
（1）、項目名稱：專項購置項目
（2）、項目地點： 西南交通大學(xué)九里校區(qū)
（3）、項目內(nèi)容： 見技術(shù)文件
（4）、項目范圍： 見技術(shù)文件
2、投標(biāo)文件內(nèi)容
（1）、請簡介貴公司的基本情況并提供有效資質(zhì)證明
A、 公司營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件、組織機構(gòu)代碼證、稅務(wù)登記證：屬于分公司或 代理商或辦事處性質(zhì)的還須附總公司或總部的委托授權(quán)書。代理產(chǎn)品的產(chǎn)品授權(quán)。
B、 公司實力、信譽以及可以說明貴公司在國內(nèi)的范例工程(最好是成都地區(qū)或國內(nèi)高校的工程)，包括用戶單位名稱、項目名稱、負(fù)責(zé)人姓名、聯(lián)系電話***
C、 以上資料須裝訂成冊作為投標(biāo)書附件并在首頁附目錄。
（2）、投標(biāo)方應(yīng)在本總則基礎(chǔ)上，對附件中的各項要求作出詳盡的整體應(yīng)答(包括系統(tǒng)解決方案及其對應(yīng)的具體設(shè)備的單項價和總報價)，并保證在本項目中標(biāo)執(zhí)行期內(nèi)，有現(xiàn)貨供應(yīng)。同時對招標(biāo)方實行價格保護(即在執(zhí)行合同過程中，貨物未起運前如價格下調(diào)，按下調(diào)價格執(zhí)行：如價格上漲，按合同價執(zhí)行)。
（3）、項目涉及系統(tǒng)集成或工程時，請同時報出貴公司工程費的計算方法和金額。如果投標(biāo)方愿意免收相關(guān)費用或贈送相關(guān)配件的，請?zhí)貏e注明其價值。
（4）、招標(biāo)方發(fā)出的標(biāo)書附表內(nèi)容，投標(biāo)方不得有任何改動。如果投標(biāo)方對其中內(nèi)容有其它更好的建設(shè)性意見或方案，可另做方案并報價，并請注明建議方案的特點，供招標(biāo)方參考。但必須在開標(biāo)前向招標(biāo)方作出口頭申明并同時交書面資料，專家評標(biāo)時，建議方案將與原投標(biāo)方案同等對待。
（5）、單臺價值高或技術(shù)含量高又是屬于系列產(chǎn)品的高精設(shè)備，貴公司必須提供產(chǎn)品的技術(shù)說明書、能證明其技術(shù)性能指標(biāo)的有關(guān)文件或材料。對屬于進(jìn)口的該類設(shè)備還須提供報關(guān)單以證明其真實性。如是國內(nèi)組裝，應(yīng)附生產(chǎn)廠家的相關(guān)資料。
（6）、要求投標(biāo)方在投標(biāo)文件中標(biāo)明所投每項設(shè)備與招標(biāo)文件中規(guī)定技術(shù)指標(biāo)的正負(fù)偏離表。
（7）、售后服務(wù)承諾(包括產(chǎn)品保修期限、零配件供應(yīng)、服務(wù)響應(yīng)時間及保證措施等)。
（8）、投標(biāo)方須按投標(biāo)函附件的要求完成相關(guān)的投標(biāo)文件。
（9）、投標(biāo)人須編制1份投標(biāo)文件“正本”和4份“副本”，并明確標(biāo)明“投標(biāo)文件正本”和“投標(biāo)文件副本”。如投標(biāo)文件正本與副本有不同之處，以正本為準(zhǔn)。投標(biāo)文件正本與副本均應(yīng)使用GB／T148——A4型紙打印，圖表等可按同樣規(guī)格的倍數(shù)擴展，不容許手寫和隨意改動，除非這些刪改是根據(jù)招標(biāo)單位指示進(jìn)行的。如果是投標(biāo)單位必須修改的錯誤，則修改處應(yīng)由投標(biāo)人加蓋法人單位公章和法定代表人或委托代表人印章。
投標(biāo)文件一式5份(裝于一個信封內(nèi))，必須在附表的每頁上加蓋投標(biāo)單位公章，整體密封后并加蓋齊縫章遞交。如果沒有按上述規(guī)定密封并加蓋公章和印章的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將不承擔(dān)投標(biāo)文件錯放或提前開啟的責(zé)任，由此造成提前開啟的投標(biāo)文件將予以拒絕．
（10）、投標(biāo)人在收到招標(biāo)文件后，若有問題需要澄清或修改，應(yīng)當(dāng)在招標(biāo)文件要求提交投標(biāo)文件截止時間至少2日前，以書面形式向招標(biāo)人提出，招標(biāo)人認(rèn)為有必要澄清的將以書面形式予以答復(fù)。該答復(fù)將送達(dá)所有投標(biāo)單位，并作為招標(biāo)文件的組成部分。補充通知作為招標(biāo)文件的組成部分，對投標(biāo)單位具有同等約束作用，投標(biāo)單位在編制投標(biāo)文件時應(yīng)將補充通知內(nèi)容考慮進(jìn)去。
（1）、發(fā)售招標(biāo)書時間：2010年11月25、26、29日上午08:30～11:30 下午02:30~05:00（Tel:028-87600323;Fax:028-87600371）
（2）、發(fā)售招標(biāo)書地點：西南交通大學(xué)九里校區(qū)（成都）行政樓546#
（3）、投標(biāo)截止時間：2010年12月2日上午09:30～10:00
（4）、投標(biāo)地點：西南交通大學(xué)九里校區(qū)行政樓第五會議室，（Tel:87600323）
（5）、開標(biāo)時間地點：2010年12月2日上午10:00，在西南交通大學(xué)九里校區(qū)行政樓第五會議室。請參與投標(biāo)方準(zhǔn)時派員出席，每一投標(biāo)單位限3名以內(nèi)代表參加，投標(biāo)單位法定代表人或法人委托代表人必須參加，否則該投標(biāo)單位所投標(biāo)將視為廢標(biāo)。開標(biāo)時，允許各投標(biāo)人有五至十分鐘的口頭補充表述(也可以放棄)。招標(biāo)人在招標(biāo)文件規(guī)定的時間、地點進(jìn)行開標(biāo)。
4、有關(guān)費用：
凡自愿參與投標(biāo)的單位須支付標(biāo)書費人民幣200元(只限本項目)。
中標(biāo)單位在合同簽署時支付合同總額的0.8%的招標(biāo)服務(wù)費。
5、交貨要求及付款方式
（1）、交貨時間：見技術(shù)指標(biāo)。
（2）、運輸方式：由供貨商負(fù)責(zé)。
（3）、本項目付款方式為分期付款，第一期，合同簽署后支付總額的30%；第二期，貨到驗收合格后十個工作日支付總額的65%；第三期，正常運行半年后支付總額的5%。
（4）、運雜費：由供貨商負(fù)責(zé) 。
6、投標(biāo)標(biāo)書作廢條款：
（1）、未正式購買標(biāo)書的。
（2）、投標(biāo)者在投標(biāo)和評標(biāo)期間有企圖影響招標(biāo)結(jié)果等不公平競爭行為的
（3）、未按照總則和標(biāo)書內(nèi)容要求制作的標(biāo)書。
（4）、未按招標(biāo)文件要求密封和加蓋投標(biāo)方公章的標(biāo)書。
（5）、對招標(biāo)文件內(nèi)容作擅自改動的。
（6）、在規(guī)定的交標(biāo)截至?xí)r間未能交標(biāo)或開標(biāo)時間未準(zhǔn)時到者。
（7）、最低報價大大高于市場平均價格的。
（8）、參與投標(biāo)者數(shù)量不足以產(chǎn)生有效競爭的。
（9）、投標(biāo)者在投標(biāo)過程中向招標(biāo)方提供虛假證明材料的(包括資信證明．業(yè)績、產(chǎn)品性能、生產(chǎn)廠等)
7、評標(biāo)原則及評標(biāo)方法：
（1）、招標(biāo)方承諾評標(biāo)工作由招標(biāo)方依法組織有關(guān)評標(biāo)專家組建的評標(biāo)委員會進(jìn)行，本著“公開、公平、公正、科學(xué)、擇優(yōu)”的原則進(jìn)行嚴(yán)格評標(biāo)，以充分保證各投標(biāo)商的合法利益。
（2）、評標(biāo)中采用綜合評估法。主要評定內(nèi)容有：
a.對投標(biāo)人的技術(shù)方案評價與比較；
b.對投標(biāo)人技術(shù)力量、設(shè)施條件評價；
c.對投標(biāo)報價、技術(shù)、經(jīng)濟風(fēng)險的分析，即通常意義上的“性價比”；
d.需要進(jìn)一步協(xié)商的問題及協(xié)商應(yīng)達(dá)到的要求；
e.對滿足評標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)的投標(biāo)人的投標(biāo)進(jìn)行排序。
通過對以上內(nèi)容的綜合評估，評審和比較投標(biāo)文件能否最大限度地滿足招標(biāo)文件中規(guī)定的各項要求和評價標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)評審小組投票表決，確定中標(biāo)候選人。
（3）、評標(biāo)結(jié)果出來后，招標(biāo)方在5個工作日內(nèi)向中標(biāo)人發(fā)出《中標(biāo)通知書》，并將中標(biāo)結(jié)果正式通知各投標(biāo)方。
（4）、招標(biāo)方正式通知中標(biāo)者后，雙方在5個工作日內(nèi)招標(biāo)單位與中標(biāo)單位在規(guī)定的時間和地點，根據(jù)《中華人民共和國合同法》及其有關(guān)規(guī)定，依據(jù)本次招、投標(biāo)文件及其附件中的有關(guān)內(nèi)容，正式簽定合同。
8、其它說明：
（1）、請投標(biāo)方認(rèn)真審閱招標(biāo)文件中的各項要求，對投標(biāo)價格及承諾慎重填報。如投標(biāo)人編制的投標(biāo)文件不能響應(yīng)和滿足本招標(biāo)書的要求，責(zé)任由投標(biāo)人自負(fù)，其投標(biāo)文件將被招標(biāo)人拒絕或被視為無效標(biāo)書。
（2）、各投標(biāo)方請仔細(xì)閱讀本標(biāo)書及附件(表)，它們包含了即將寫進(jìn)合同之中的大部分條款，一旦投標(biāo)方正式投標(biāo)，即被視為已對招標(biāo)方做出了具有法律效力的相關(guān)承諾，除非不可抗拒因素不得隨意更改。
（3）、對惡意投標(biāo)、中標(biāo)后不按合同要求保證供貨的廠商家，招標(biāo)方保留通報批評、索賠、罰款和停止全部產(chǎn)品的供貨資格的行為。
（4）、不論投標(biāo)結(jié)果如何，投標(biāo)人的投標(biāo)文件均不退回，且不對未中標(biāo)單位作任何解釋。投標(biāo)人在投標(biāo)過程中產(chǎn)生的一切費用，不管投標(biāo)結(jié)果如何，均由投標(biāo)人承擔(dān)。
掩膜對準(zhǔn)器技術(shù)條件指標(biāo)要求
1．技術(shù)特征
無論大片、小片調(diào)平精度均高；
具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；
高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程，并提供USB輸出；既滿足高精度對準(zhǔn)，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲；
電機機構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；
曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）；
對準(zhǔn)完成，自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察；
快門可以單獨開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）；
采用350W進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；
汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式，即曝光時采用高亮度照明，而不曝光時采用低亮度的“待機”，從而延長了汞燈壽命。
2．技術(shù)參數(shù)
曝光面積：100mm×100mm
曝光深度：一次性可達(dá)100mm
分辨力：0.8-1mm（膠厚2 mm的正膠）
對準(zhǔn)精度：±0.8mm
掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y：6mm
掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸
樣片尺寸
直徑f15mm-- f100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
照明均勻性： ±3-4%（ f100mm 范圍）
掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
汞燈功率：350W（直流）
曝光波長：365nm
曝光能量密度：15mW/cm
曝光方式：定時（到計時方式0.1s—999s）
具有納米壓印和無掩膜光刻功能
3．配置
（1）曝光頭
冷光橢球鏡
350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（77個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2
冷卻風(fēng)扇
（2）對準(zhǔn)工件臺
?掩模樣片整體運動臺
?掩模樣片相對運動臺
?轉(zhuǎn)動臺
?樣片調(diào)平機構(gòu),三點自動完成
?樣片調(diào)焦機構(gòu)，電機自動調(diào)
?承片臺4個：Ø40mm 、Ø60mm 、 Ø100mm、按用戶要求免費另外設(shè)計一種。
?掩模夾4個：2.5英寸、3英寸、4英寸
?掩模抽拉式上下機構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
?光源、 電源
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
?物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
?CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)
?19寸寬瓶液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(350W)
?單片機控制系統(tǒng)
?控制柜桌
（5）氣動系統(tǒng)
?氣缸（日本SMC）、電磁閥（日本SMC）、減壓閥、氣動開關(guān)（日本SMC）等
?電磁閥驅(qū)動
?氣動儀表
4．售后服務(wù)
負(fù)責(zé)運輸、安裝和調(diào)試工作，免費為需方免費提供儀器的使用、維護、保養(yǎng)等技術(shù)培訓(xùn)；設(shè)備保修期一年，終身提供零、配件和設(shè)備維修服務(wù)，設(shè)備出現(xiàn)故障，接到用戶通知24小時內(nèi)提出解決方案，4個工作日內(nèi)恢復(fù)。
5．交貨時間
合同簽訂之后2個月。
6．交貨地點
西南交通大學(xué)九里校區(qū)