招標(biāo)編號(hào): | 0705-104010220302 |
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加入日期: | 2010.05.20 |
截止日期: | 2010.06.10 |
招標(biāo)代理: | 上海國(guó)際招標(biāo)有限公司 |
地 區(qū): | 上海市 |
內(nèi) 容: | 全自動(dòng)硅片搬送系統(tǒng)一套,包括軌道、搬送小車、硅片存儲(chǔ)柜、緩沖存儲(chǔ)架(Buffer)、光刻掩膜板存儲(chǔ)柜和物料自動(dòng)控制系統(tǒng)(MCS,不包括硬件)等構(gòu)成完整系統(tǒng)的所有軟件硬件。 |