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高分辯率X光衍射儀、ICP刻蝕機招標(biāo)公告

信息發(fā)布日期：2007.03.29 標(biāo)簽： 山東省招標(biāo) 
加入日期：2007.03.29
截止日期：2007.04.03
招標(biāo)業(yè)主：中微光電子（濰坊）有限公司光電子研究院
招標(biāo)代理：濰坊市高新區(qū)政府采購中心;濰坊市魯成招標(biāo)有限公司
地 區(qū)：山東省
 
招標(biāo)公告正文
 

 

采購人名稱:濰坊市高新區(qū)政府采購中心     
地址:***
聯(lián)系方式***
采購代理機構(gòu)名稱:濰坊市魯成招標(biāo)有限公司 
地址:***
聯(lián)系方式***
招標(biāo)項目名稱、用途、數(shù)量、簡要技術(shù)要求或招標(biāo)項目的性質(zhì)：
1、項目名稱：中微光電子（濰坊）有限公司光電子研究院設(shè)備采購。
2、招標(biāo)內(nèi)容：包一：高分辯率X光衍射儀，數(shù)量一臺；包二：ICP刻蝕機，數(shù)量一臺。
3、設(shè)備簡介：3.1  高分辯率X光衍射儀：用于檢測外延薄膜的組成，結(jié)構(gòu)和質(zhì)量，可測試GaAs, InP, GaN, Si, SiGe等材料外延片。主要參數(shù)要求：角度分辨率: 0.00005度 測角重現(xiàn)性:+-0.0001度。
3.2  ICP刻蝕機主要參數(shù)要求：ICP功率>1000W，RF功率>300W，腔壓可控制在1mTorr，刻蝕速率>1um/min，均勻度：+/-5%。
4、供應(yīng)商資格要求：4.1設(shè)備制造商或代理商的正式授權(quán)；4.2在國內(nèi)有獨立維修服務(wù)中心或服務(wù)部門。
本項目聯(lián)系人：姚永華   趙清波    聯(lián)系電話：0536—8875351、8875381    電子郵箱*** wfzb123@163.com
其他：
1、報名時間：2007年3月30日至2007年4月3日。地點：濰坊市魯成招標(biāo)有限公司（地址：***
2、報名時需攜帶企業(yè)營業(yè)執(zhí)照、生產(chǎn)或銷售許可復(fù)印件。
3、獲取招標(biāo)文件時間：2007年4月3日開始（上午9:00至下午5:00）。獲取方式：現(xiàn)場發(fā)售。
                                                
二ОО七年三月二十九日
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