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2006.08.16招標(biāo)公告
> 0730-0640GD041405/01濕刻機(jī):3臺(tái) (包含2臺(tái)鋁刻蝕機(jī),1臺(tái)ITO刻蝕機(jī));0730-0640GD041405/02脫膜機(jī):6套 ;0730-0640GD041405/03前清洗機(jī):2臺(tái) ;0730-0640GD041405/04成膜前清洗機(jī):5臺(tái) ;0730-0640GD041405/05工裝籃清洗機(jī):1臺(tái)招標(biāo)公告
0730-0640GD041405/01濕刻機(jī):3臺(tái) (包含2臺(tái)鋁刻蝕機(jī),1臺(tái)ITO刻蝕機(jī));0730-0640GD041405/02脫膜機(jī):6套 ;0730-0640GD041405/03前清洗機(jī):2臺(tái) ;0730-0640GD041405/04成膜前清洗機(jī):5臺(tái) ;0730-0640GD041405/05工裝籃清洗機(jī):1臺(tái)招標(biāo)公告
信息發(fā)布日期:2006.08.16 標(biāo)簽:
上海市招標(biāo)
招標(biāo)編號(hào):
0730-0640GD041405
加入日期:
2006.08.16
截止日期:
2006.09.05
招標(biāo)業(yè)主:
上海天馬微電子有限公司;
招標(biāo)代理:
中航技國(guó)際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司
地 區(qū):
上海市
招標(biāo)公告正文
項(xiàng)目名稱:0730-0640GD041405/01濕刻機(jī):3臺(tái) (包含2臺(tái)鋁刻蝕機(jī),1臺(tái)ITO刻蝕機(jī));0730-0640GD041405/02脫膜機(jī):6套 ;0730-0640GD041405/03前清洗機(jī):2臺(tái) ;0730-0640GD041405/04成膜前清洗機(jī):5臺(tái) ;0730-0640GD041405/05工裝籃清洗機(jī):1臺(tái) 日期:2006年08月16日 招標(biāo)編號(hào):0730-0640GD041405 中航技國(guó)際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司受買方委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo),F(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。 1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù): 0730-0640GD041405/01:濕刻機(jī) 3臺(tái) 1. 資格標(biāo)準(zhǔn):具有制造4.5代及以上TFT用濕刻機(jī)設(shè)備4年以上經(jīng)驗(yàn),并具有一定的產(chǎn)量和規(guī)模。投標(biāo)方推薦的設(shè)備應(yīng)成熟可靠,有一定的銷售記錄(不少于20臺(tái))(投標(biāo)書(shū)應(yīng)附用戶清單和聯(lián)系方式)。 2. 設(shè)備用途及基本要求: 該套設(shè)備主要用于在4.5代TFT LCD的基板上以濕刻方式形成電極圖形。要求該設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,采用先進(jìn)成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動(dòng)態(tài)品質(zhì),在操作過(guò)程中操作 者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行元件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 3. 基板尺寸: 730mm ×920mm 4. 月產(chǎn)能:≥30k/month 5. 開(kāi)機(jī)率:≥85% 6. 基板厚度:0.5t ~0.7t 7. 在設(shè)備硬件上能對(duì)應(yīng)0.4t的基板。 8. 生產(chǎn)節(jié)拍:≤55秒 9. 設(shè)備形式: U-turn型 10. 設(shè)備構(gòu)成:輸入傳送帶,excimer UV, 緩沖區(qū),刻蝕單元1、2、3, 高壓噴淋,最終噴淋,輸出傳送帶,等等。 11. Tank溫度控制: 45℃±2℃;其它設(shè)定溫度控制在±2℃以內(nèi) 12. 提供備用Tank 13. 提供對(duì)鋁刻蝕的EPD控制 14. 臺(tái)階(Taper)截面角: ≤80º 0730-0640GD041405/02:脫膜機(jī) 6套 1. 資格標(biāo)準(zhǔn):具有制造4.5代及以上TFT用脫膜機(jī)設(shè)備4年以上經(jīng)驗(yàn),并具有一定的產(chǎn)量和規(guī)模。投標(biāo)方推薦的設(shè)備應(yīng)成熟可靠,有一定的銷售記錄(不少于10臺(tái))(投標(biāo)書(shū)應(yīng)附用戶清單和聯(lián)系方式)。 2. 設(shè)備用途及基本要求:該套設(shè)備主要用于4.5代TFT LCD的濕刻或者干刻之后的PR膜去除,或者O/S 電測(cè)前有機(jī)清洗。要求該設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,采用先進(jìn)成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動(dòng)態(tài)品質(zhì),在操作過(guò)程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行元件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 3. 基板尺寸: 730mm ×920mm 4. 月產(chǎn)能:≥30k/month 5. 開(kāi)機(jī)率: ≥85% 6. 基板厚度:0.5t ~0.7t 7. 在設(shè)備硬件上能對(duì)應(yīng)0.4t的基板。 8. 生產(chǎn)節(jié)拍:≤55秒 9. 設(shè)備形式: U-turn 型 10. 設(shè)備構(gòu)成:輸入傳送帶,緩沖區(qū),脫膜單元1、2、3,清洗單元3個(gè)以上(高壓),干燥單元,輸出傳送帶,等等。 11. 搬送方式:傾斜搬送,并且傾斜角度: 5° 12. Tank溫度控制: 70℃±3℃;其它設(shè)定溫度控制在±3℃以內(nèi) 13. Tank工作方式:階梯式溢流法(Cascade) 14. 清洗單元不能使用 IPA 溶液 0730-0640GD041405/03:前清洗機(jī) 2臺(tái) 1. 資格標(biāo)準(zhǔn):具有制造4.5代及以上TFT 工廠CF和白玻璃前清洗用設(shè)備5年以上經(jīng)驗(yàn),并具有一定的產(chǎn)量和規(guī)模。投標(biāo)方推薦的設(shè)備應(yīng)成熟可靠,有一定的銷售記錄(不少于10臺(tái))(投標(biāo)書(shū)應(yīng)附用戶清單和聯(lián)系方式)。 2. 設(shè)備用途及基本要求:該套設(shè)備主要用于4.5代TFT 工廠CF和白玻璃前清洗。要求該設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,采用先進(jìn)成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動(dòng)態(tài)品質(zhì),在操作過(guò)程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行元件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 3. 基板尺寸: 730mm ×920mm 4. 月產(chǎn)能:≥30k/month 5. 開(kāi)機(jī)率:≥85% 6. 基板厚度:0.5t ~0.7t 7. 在設(shè)備硬件上能對(duì)應(yīng)0.4t的基板。 8. 生產(chǎn)節(jié)拍:≤55秒 9. 搬送方式:傾斜搬送 10. 玻璃傳送方式:磁性驅(qū)動(dòng) 11. 基板上、下各2個(gè)滾刷,并且上面的滾刷到玻璃的間距采用自動(dòng)控制;下面的滾刷到玻璃的間距采用手動(dòng)控制。 12. Tank溫度控制: 45℃±3℃;其它設(shè)定溫度控制在±3℃以內(nèi) 0730-0640GD041405/04:成膜前清洗機(jī) 5臺(tái) 1. 資格標(biāo)準(zhǔn):具有制造4.5代及以上TFT array段用的成膜前(pre-PVD, pre-CVD)清洗機(jī)設(shè)備5年以上經(jīng)驗(yàn),并具有一定的產(chǎn)量和規(guī)模。投標(biāo)方推薦的設(shè)備應(yīng)成熟可靠,有一定的銷售記錄(不少于30臺(tái))(投標(biāo)書(shū)應(yīng)附用戶清單和聯(lián)系方式)。 2. 設(shè)備用途及基本要求:該套設(shè)備其中4臺(tái)主要用于4.5代TFT LCD的array 段的PVD,CVD成膜前清洗,另外一臺(tái)用于array 段的PVD成膜前清洗含HF清洗單元。要求該設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,采用先進(jìn)成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動(dòng)態(tài)品質(zhì),在操作過(guò)程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行元件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 3. 基板尺寸: 730mm ×920mm 4. 月產(chǎn)能:≥30k/month 5. 開(kāi)機(jī)率: ≥85% 6. 基板厚度:0.5t ~0.7t 7. 在設(shè)備硬件上能對(duì)應(yīng)0.4t的基板。 8. 生產(chǎn)節(jié)拍:≤55秒 9. 設(shè)備形式: I-turn型(兩層結(jié)構(gòu)) 10. 設(shè)備構(gòu)成:其中4臺(tái)的結(jié)構(gòu):輸入傳送帶, E-UV,漂洗單元(噴淋), 風(fēng)干單元, 輸出傳送帶等.其中1臺(tái)的結(jié)構(gòu):輸入傳送帶, E-UV , 滾刷,HF單元, 最后漂洗單元(噴淋), 風(fēng)干單元, 輸出傳送帶等. 11. 玻璃傳送方式:磁性驅(qū)動(dòng) 12. 基板上、下各2個(gè)滾刷,并且上面的滾刷到玻璃的間距采用自動(dòng)控制;下面的滾刷到玻璃的間距采用手動(dòng)控制。 13. HF單元 14. HF溶液的濃度控制:≤基準(zhǔn)濃度的±10% 15. Tank溫度控制: 40℃±2℃;其它設(shè)定溫度控制在±2℃以內(nèi) 0730-0640GD041405/05: 1. 資格標(biāo)準(zhǔn):具有制造4.5代及以上TFT array段和cell前 段用的工裝籃清洗機(jī)設(shè)備3年以上經(jīng)驗(yàn),并具有一定的產(chǎn)量和規(guī)模。投標(biāo)方推薦的設(shè)備應(yīng)成熟可靠,有一定的銷售記錄(不少于5臺(tái))(投標(biāo)書(shū)應(yīng)附用戶清單和聯(lián)系方式)。 2. 設(shè)備用途及基本要求:該套設(shè)備主要用于4.5代TFT LCD的array 段和cell 前段的工裝籃清洗。要求該設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,采用先進(jìn)成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動(dòng)態(tài)品質(zhì),在操作過(guò)程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行元件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 3. 工裝籃尺寸:730mm ×920mm基板用的工裝籃 4. 工裝籃清洗能力:≥3600個(gè)/月(6個(gè)/小時(shí)x 22.5小時(shí)/天 x 30天/月x 90%) 5. 設(shè)備構(gòu)成:上料, 清洗單元, 風(fēng)干單元, 檢查單元, 下料等. 6. 高壓純水溫度:≤70°C 7. 熱風(fēng)溫度可以調(diào)節(jié),最高溫度:80°。 8. 配備高效過(guò)濾器: ≥1個(gè) 2、招標(biāo)文件售價(jià):0730-0640GD041405/01:4000元人民幣/500美元 3、購(gòu)買招標(biāo)文件時(shí)間:即日起至投標(biāo)截止時(shí)間止,每天09:00-16:30,節(jié)假日除外 4、購(gòu)買招標(biāo)文件地點(diǎn):中國(guó)北京朝陽(yáng)區(qū)慧忠路5號(hào)遠(yuǎn)大中心B座20層,中航技國(guó)際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司 5、投標(biāo)截止時(shí)間和開(kāi)標(biāo)時(shí)間:2006-09-05 10:00:00 6、開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):中國(guó)上海浦東新區(qū)龍東大道6111號(hào),上海天馬微電子有限公司 地址:北京市朝陽(yáng)區(qū)慧忠路5號(hào)遠(yuǎn)大中心B座20層 郵編:100101 電子郵箱:jieliu@catic-ted.com 電話:+86-10-84892626-515 傳真:+86-10-84891126 聯(lián)系人:郝冰 女士 13001202518 楊彤欣 先生 13801235701 開(kāi)戶銀行(人民幣):中國(guó)銀行總行營(yíng)業(yè)部 開(kāi)戶銀行(美元):中國(guó)銀行總行營(yíng)業(yè)部 帳號(hào)(人民幣):00289708094001 帳號(hào)(美 元): 00289708094001
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