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磁控濺射成膜機(jī)、干刻機(jī)和灰化機(jī)、干刻機(jī)(鈍化膜刻蝕)等招標(biāo)公告

信息發(fā)布日期：2006.07.13 標(biāo)簽：上海市招標(biāo)

招標(biāo)編號(hào)：	0730-0640GD041401
加入日期：	2006.07.13
截止日期：	2006.08.02
招標(biāo)業(yè)主：	上海天馬微電子有限公司;
招標(biāo)代理：	中航技國際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司
地區(qū)：	上海市

招標(biāo)公告正文

項(xiàng)目名稱: 0730-0640GD041401/01 磁控濺射成膜機(jī)(PVD)1套(含GATE、S/D、ITO); 0730-0640GD041401/02 干刻機(jī)和灰化機(jī)(3臺(tái)干刻機(jī)、1臺(tái)灰化機(jī)); 0730-0640GD041401/03 干刻機(jī)(鈍化膜刻蝕)1套; 0730-0640GD041401/04 干刻機(jī)(小島/溝道刻蝕)2套; 0730-0640GD041401/05 灰化機(jī)1臺(tái) 日期：2006年07月13日招標(biāo)編號(hào)：0730-0640GD041401 中航技國際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司受買方委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)�，F(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。 1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：招標(biāo)編號(hào)：0730-0640GD041401/02 1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：干刻機(jī)&灰化機(jī) 設(shè)備技術(shù)要求及主要規(guī)格參數(shù)： A6.設(shè)備用途及基本要求：本設(shè)備應(yīng)能刻蝕玻璃基板上的薄膜。系統(tǒng)采用工裝籃到工裝籃的工作方式，全自動(dòng)單片處理，多腔體刻蝕灰化。 A 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *A 7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） A 7.5.3工藝腔結(jié)構(gòu)類型：多腔體 A 7.5.5射頻電源：輸出：7.5 KW 頻率：13.56 MHz 頻率調(diào)諧方式：自動(dòng) 通信接口：RS232C *A 7.6.1.3.5靜電夾具 (只為一臺(tái)進(jìn)行鈍化膜刻蝕設(shè)備配備) A7.6.6.1工藝氣體：賣方需提供6路或6路以上氣路 1．第一路：SF6 2．第二路：Cl2 3．第三路：He 4．第四路：O2 5．第五路：預(yù)留 6．第六路：預(yù)留 *A7.7.3產(chǎn)能：>3萬片/月（30天/月，22.5小時(shí)/天，開工率>85%） B6.設(shè)備用途及基本要求：本系統(tǒng)是采用等離子體對(duì)基板表面的PI膜層進(jìn)行灰化。 B 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *B 7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） B 7.5.4射頻電源：輸出：5KW ~ 10KW 頻率：4 MHz or 13.56 MHz 頻率調(diào)諧方式：自動(dòng) 通訊接口：RS232C B 7.5.7供氣管路數(shù)：工藝氣體：3路或以上（每個(gè)腔）招標(biāo)編號(hào)：0730-0640GD041401/03 1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：干刻機(jī)（鈍化膜刻蝕）1臺(tái) 7.3系統(tǒng)構(gòu)成：本系統(tǒng)應(yīng)有3個(gè)刻蝕腔，傳輸腔，上、下料腔，大氣機(jī)器手（買方提供），上、下料機(jī)（買方提供） 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） 7.5.3工藝腔結(jié)構(gòu)類型：多腔體 7.5.5射頻電源：輸出：7.5 KW 頻率：13.56 MHz 頻率調(diào)諧方式：自動(dòng) 通訊接口：RS232C 7.5.8供氣管路數(shù)：工藝氣體：≥6路保護(hù)氣體：1路（每個(gè)腔，N2標(biāo)準(zhǔn)） *7.7.3產(chǎn)能：>3萬片/月（30天/月，22.5小時(shí)/天，開工率>85%）招標(biāo)編號(hào)：0730-0640GD041401/04 招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量：干刻機(jī)（小島/溝道刻蝕）2臺(tái) 主要技術(shù)參數(shù)： 7.3系統(tǒng)構(gòu)成：本系統(tǒng)應(yīng)有3個(gè)刻蝕腔，傳輸腔，上、下料腔，大氣機(jī)器手（買方提供），上、下料機(jī)（買方提供） 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） 7.5.3工藝腔結(jié)構(gòu)類型：多腔體 7.5.5射頻電源：輸出：7.5 KW 頻率：13.56 MHz 頻率調(diào)諧方式：自動(dòng) 通訊接口：RS232C 7.5.8供氣管路數(shù)：工藝氣體：≥6路保護(hù)氣體：1路（每個(gè)腔，N2標(biāo)準(zhǔn)） *7.7.3產(chǎn)能：>3萬片/月（30天/月，22.5小時(shí)/天，開工率>85%）招標(biāo)編號(hào)：0730-0640GD041401/05 1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：灰化機(jī) 7.3系統(tǒng)構(gòu)成：本系統(tǒng)應(yīng)有2個(gè)灰化腔，大氣機(jī)器手（買方提供），上、下料機(jī)（買方提供） 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） 7.5.4射頻電源：輸出：5KW ~ 10KW 頻率：4 MHz or 13.56 MHz 頻率調(diào)諧方式：自動(dòng) 通訊接口：RS232C 7.5.7供氣管路數(shù)：工藝氣體：3路或以上（每個(gè)腔） *7.7.2灰化速度：≥4000?/min　選擇比：PI/ITO≥10 2、招標(biāo)文件售價(jià)： 0730-0640GD041401/02售價(jià):10000元人民幣, 0730-0640GD041401/03售價(jià):5000元人民幣, 0730-0640GD041401/04售價(jià):8000元人民幣, 0730-0640GD041401/05售價(jià):3000元人民幣. 3、購買招標(biāo)文件時(shí)間：即日起至投標(biāo)截止時(shí)間止，每天08:30-16:00，節(jié)假日除外 4、購買招標(biāo)文件地點(diǎn)：北京市朝陽區(qū)慧忠路５號(hào)遠(yuǎn)大中心Ｂ座２０層，中航技國際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司 5、投標(biāo)截止時(shí)間和開標(biāo)時(shí)間：2006-08-02 10:00:00 6、開標(biāo)地點(diǎn)：上海地址：上海郵編：100101 電子郵箱：ytx@catic-ted.com 電話：+86-10-84892626/515 or (663) 傳真：84891126 聯(lián)系人：劉潔小姐, 楊彤欣先生開戶銀行（人民幣）：招行亞運(yùn)村支行開戶銀行（美元）：中國銀行總行營業(yè)部帳號(hào)（人民幣）：0783419210001 帳號(hào)（美　元）： 00289708094014

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