加入日期: | 2006.06.10 |
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招標業(yè)主: | ;北方工業(yè)大學 |
地 區(qū): | 北京市 |
序號
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儀器名稱
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規(guī)格參數(shù)
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1
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脈沖高壓電源
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(
等離子體電源
)
1. 功率:1kW
2. 工作頻率:13.56MHz
3. 冷卻方式:風冷
4. 帶匹配箱
5. 供電方式:單相
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2
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分子真空泵
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1. 抽速:>500 L/s
2. 帶控制電源
3. 冷卻方式:風冷(希望)
4. 供電方式:單相
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3
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機械真空泵
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1. 抽速:>50 L/s
2. 供電方式:單相
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